8月4日至5日,2026第二十届沙利文全球增长、科创与领导力峰会暨第五届新投资大会在上海举行。本次峰会将集中展示沙利文65年来对新兴行业及热门赛道的深厚研究积淀,对前沿科技演进的敏锐洞察,以及对资本市场动向的精准把握。
在半导体和AI基础设施分论坛上,广东华沿机器人股份有限公司(以下简称“华沿机器人”)执行董事及董事会秘书张应涛分享了公司在半导体制造精密运动平台领域的技术积累与产业化成果。
张应涛在演讲中介绍,华沿机器人在电机驱动及运动控制领域已深耕20余年,公司前身为上市公司大族激光孵化的大族机器人,2025年完成品牌升级,2026 年 3 月登陆港交所主板。公司核心精密运动平台产品由控制器、驱动器、光编码器及导轨等组成,构成三轴运动控制平台,广泛应用于半导体光通信、生物检测及高精密工业检测等场景。
值得关注的是,华沿机器人自主研发的伺服驱动器是精密运动平台实现纳米级定位的核心环节之一,在驱动器精度方面,采用高性能FPGA架构,支持100kHz PWM频率与5kHz电流环带宽,基于EtherCAT通讯实现1ms刷新周期,同步抖动控制在100ns以内。驱动器集成全闭环控制,可接入光栅尺等纳米级反馈元件,通过三环矢量算法逐级调节位置、速度与电流,有效抑制振动与热漂移,并具备智能温度补偿功能。该驱动平台使精密运动平台在晶圆检测、光纤耦合等场景中实现±50nm重复定位精度与±200nm定位精度,为国产半导体及光通信设备提供了高可靠性的核心驱动保障。
张应涛透露,公司精密运动平台在光通信领域的应用已进入国内大厂供应链,主要服务于400G、800G及1.6T高速光模块的光纤耦合工艺。该平台由直线运动模组、自研控制器与驱动器及光纤耦合转换模块三部分组成,全部为自主研制。在半导体领域,产品已广泛应用于晶圆检测设备,并进入国内主流厂商。
张应涛指出,精密运动平台赛道本身是一个典型的国产替代赛道。过去,高端产品主要集中于德国、英国、美国及以色列等国。随着AI产业崛起带动国内高精度设备需求爆发,国产精密运动平台迎来历史性机遇。华沿凭借20余年的技术积累,正伴随国产半导体及光通信设备一同成长,为行业提供高精度、高可靠性的核心运动部件。