科创半导体设备ETF鹏华(589020)标的指数红盘向上，三季报行情拉开序幕lg...

消息面上，西安奕材公告称，预计2026年第三季度归属于上市公司股东的净利润为4.41亿元，同比扭亏为盈。业绩变动主要系AI算力、高带宽内存及全球数据中心建设需求拉动，12英寸硅片供需持续供不应求，价格进入上涨周期，公司产线满稼动，销量同比增长约67.98%。此外，在2026湾芯展开幕式暨半导体产业发展峰会上，华海清科发布中束流离子注入机IHQ-900E，据介绍，该产品是国产首台性能超越国外竞品的中束流离子注入机，剂量均匀性，角度，Dose Rate,Beam Current 以及WPH 等部分关键指标方面领先于国外竞品，其搭载华海清科自研的软件平台，整机国产化率95.6%，预计2027年实现全部国产化。

方正证券指出，受益于AI基建投资加速、器件架构复杂度提升及HBM等高性能需求，全球半导体设备需求持续强劲增长。据SEMI报告，预计2026年全球半导体设备销售额将达到1659亿美元的新高，同比增长23.2%，2028年设备市场规模将达到2295亿美元，实现连续五年增长。供给端，国内厂商在刻蚀、沉积、清洗、CMP等领域已取得国产化率提升的突破，但先进制程及涂胶显影、量检测、离子注入等环节国产化率依然较低。

截至2026年10月16日 10:49，科创半导体设备ETF鹏华(589020)标的指数上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)上涨0.19%，成分股西安奕材上涨4.10%，屹唐股份上涨2.43%，安集科技上涨2.15%，华海清科上涨1.80%，龙图光罩上涨1.61%。

从资金净流入方面来看，科创半导体设备ETF鹏华近3天获得连续资金净流入，最高单日获得8755.93万元净流入，合计“吸金”1.50亿元，日均净流入达4999.72万元。

科创半导体设备ETF鹏华(589020)紧密跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，上证科创板半导体材料设备主题指数选取科创板内业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，以反映科创板半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。

数据显示，截至2026年9月30日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为华海清科、中科飞测、中微公司、拓荆科技、芯源微、华峰测控、盛美上海、沪硅产业、安集科技、富创精密，前十大权重股合计占比74.02%。

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