金融界2023年11月21日消息,据国家知识产权局公告,京东方科技集团股份有限公司取得一项名为“微纳米通道结构、传感器及其制备方法、微流体装置“,授权公告号CN112368234B,申请日期为2019年4月。
专利摘要显示,一种微纳米通道结构(20)、微纳米通道结构(20)的制备方法、传感器(2)、传感器(2)的制备方法和微流体装置(40)。该微纳米通道结构(20)包括:衬底基板(21);基底层(22),在衬底基板(21)上且包括多个突起(26);通道壁层(23),在多个突起(26)的远离衬底基板(21)的一侧,且通道壁层(23)中具有微纳米通道(24);其中,多个突起(26)中相邻的突起(26)之间具有凹陷部(27),微纳米通道(24)在衬底基板(21)上的正投影位于凹陷部(27)在衬底基板(21)上的正投影内。该微纳米通道(24)具有高分辨率或超高分辨率且可以具有不同的尺寸和形状,从而可以适用于实际应用中的不同需求,同时节省了工艺步骤,节约了生产成本。