金融界2023年11月24日消息,据国家知识产权局公告,京东方科技集团股份有限公司申请一项名为“电极结构和电化学沉积设备“,公开号CN117107335A,申请日期为2022年5月。
专利摘要显示,本公开提供一种用于电化学沉积设备中的电极结构,包括导电部,所述导电部包括:第一电极;第二电极,环绕所述第一电极设置,且与所述第一电极相互绝缘;其中,所述第一电极和所述第二电极被配置为连接不同的电源端,且所述第二电极上的电流密度小于所述第一电极上的电流密度。本公开还提供一种电化学沉积设备。