钢研纳克：公司子公司纳克微束生产的场发射扫描电镜可以用于相关材料缺陷分析，分辨率达到了纳米级lg...

证券之星消息，钢研纳克(300797)12月05日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。

投资者：公司用于半导体光刻胶的缺陷检测扫描电镜，可用于那一类的光刻胶g线，i 线，KrF，ArF？

钢研纳克董秘：投资者您好，公司子公司纳克微束生产的场发射扫描电镜可以用于相关材料缺陷分析，分辨率达到了纳米级。谢谢关注！

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