长鑫存储申请曝光技术专利，能有效提高曝光图形的关键尺寸的均匀性lg...

摘要：金融界2023年12月15日消息，据国家知识产权局公告，长鑫存储技术有限公司申请一项名为“曝光方法、装置、计算机设备、存储介质和计算机程序产品”，公开号CN117234038A，申请日期为2022年6月。专利摘要显示，本申请涉及一种曝光方法、装置、计算机设备、存储介质和计算机程序产品。所述方法包括：获取对目标层曝光的基准衍射光强，衍射光强为发光器发出的光束经过衍射光学元件衍射后的光强；获取对目标层的预设曝光区块曝光的实际衍射光强，预设曝光区块位于第i+1个曝光区块之前，i为正整数；根据基准衍射光强、实际衍射光强计算得到第i+1个曝光区块的曝光剂量补偿值；根据曝光剂量补偿值，对第i+1个曝光区块的曝光剂量进行补偿。本申请实施例能够有效提高曝光图形的关键尺寸的均匀性。