江丰电子申请钛铝合金靶材及其制备方法专利，有效控制钛铝合金靶材的性能lg...

摘要：金融界2023年12月23日消息，据国家知识产权局公告，宁波江丰电子材料股份有限公司申请一项名为“一种钛铝合金靶材及其制备方法“，公开号CN117265489A，申请日期为2023年10月。专利摘要显示，本发明提供了一种钛铝合金靶材及其制备方法，所述制备方法包括如下步骤：按照合金成分设计要求混合海绵钛和铝块，熔炼后依次进行等温轧制、退火以及机械加工后得到所述钛铝合金靶材；所述熔炼包括依次进行的一次熔炼、二次熔炼以及三次熔炼。本发明通过采用电子束熔炼法多次熔炼获得成分和组织均匀，内部无缺陷的铸锭；使用等温轧制方法将铸坯加工成晶粒细小均匀的靶坯。本发明提供的方法能有效控制钛铝合金靶材的性能，适用于批量生产。