江化微取得银膜蚀刻液专利，延长蚀刻液使用寿命提高生产效率lg...

摘要：金融界2023年12月28日消息，据国家知识产权局公告，江阴江化微电子材料股份有限公司取得一项名为“一种高寿命银膜蚀刻液组合物及蚀刻工艺”，授权公告号CN114277373B，申请日期为2021年12月。专利摘要显示，本发明公开了一种高寿命银膜蚀刻液组合物，其基于现有的硝酸乙酸混酸体系，通过在基板中裸露的铝表面自组装成膜的多羟基化合物与充分络合游离银离子的银离子络合剂的作用，降低蚀刻体系中的银离子与铝表面接触的几率，从而延长蚀刻液的使用寿命并提高产线生产效率。专利还公开了一种高寿命银膜蚀刻液组合物的蚀刻工艺。