金融界2024年1月30日消息,据国家知识产权局公告,斯达半导体股份有限公司申请一项名为“一种用于功率半导体模块的银烧结装置及烧结方法“,公开号CN117476483A,申请日期为2023年10月。
专利摘要显示,本发明涉及功率半导体模块封装技术领域,具体涉及一种用于功率半导体模块的银烧结装置及烧结方法。装置包括,底座;下模,设于底座上,下模的上表面设有基板凹槽;下模感应加热器,设于下模的周侧;接触式温度传感器,设于基板凹槽内;顶座,设于底座的上方;气缸组件,设于顶座上,底部设有活塞;上模,连接活塞并朝向下模设置;上模感应加热器,设于上模的周侧;非接触式温度传感器,设于上模的一侧。本发明通过感应加热方法实现模具和产品的快速加热,拓宽了银烧结时热源的选择范围,提升了烧结效率,同时接触式温度传感器直接接触烧结基板,实现了对烧结产品温度的更精确控制。