长鑫存储取得半导体炉管机台加热器专利，改变传统半导体炉管机台加热器发生故障时，需要整体更换加热器而加热器体积过大拆装不便、成本较高的现状lg...

摘要：金融界2024年5月10日消息，据国家知识产权局公告，长鑫存储技术有限公司取得一项名为“半导体炉管机台加热器“，授权公告号CN109951906B，申请日期为2018年4月。专利摘要显示，本发明主要公开了一种半导体炉管机台加热器，包括加热器外框及多组电阻丝元件，加热器外框具有顶部、底部及位于顶部和底部间的侧部，侧部形成有组件固定区及降温气体流通区，多组电阻丝元件安装于组件固定区中，降温气体流通区位于侧部和组件固定区之间，每一组的电阻丝元件安装在侧部的相同高度，不同组之间的电阻丝元件以等距环状分散、交错插排及循环方式竖直独立排列在所述侧部的不同高度，每个电阻丝元件可单独安装或拆卸。本发明用以改变传统半导体炉管机台加热器发生故障时，需要整体更换加热器而加热器体积过大拆装不便、成本较高的现状。