ETF开盘涨跌不一，集成电路ETF（159546）领涨8.29%，专精特新ETF（563210）涨4.77%，深证100ETF大成（159216）涨4.45%，云50ETF（560660）领跌2.23%，通信ETF（159695）跌2.01%，疫苗龙头ETF（561920）跌1.94%。