ETF收盘涨跌不一，半导体设备ETF（159516）领涨9.55%，半导体设备ETF易方达（159558）涨9.44%，半导体设备ETF基金（159327）涨9.40%，东南亚科技ETF（513730）领跌1.89%，中证500价值ETF（562330）跌1.65%，纳指ETF（159941）跌0.97%。