:公司生产的陶瓷加热器自 2023 年第四季度开始大量向国内晶圆厂批量出货,由于陶瓷加热器是属于半导体薄膜沉积设备中的一种耗材,使用寿命一般约为 1年左右,故已公司销售的陶瓷加热器以及已进入替换周期,晶圆厂客户存在增加产能的需求,在 2025 年预计会有更多对公司陶瓷加热器的采购需求。同时,公司也有多款陶瓷加热器产品正在国内设备厂及晶圆厂中已经在 2024 年通过验证或进行验证测试,预计在 2025形成新的批量生产收入。作为募投项目的苏州新生产基地(新厂)将在2025年内全面投入使用,1季度已基本完成原陶瓷加热器车间(苏州六厂)到新厂的搬迁,目前正全力搭建陶瓷加热器全新产线,计划陶瓷加热器理论产能到 2025 年末再提高到接近 200支/月,以满足晶圆厂商和国内主流半导体设备厂商的已量产产品的后续需求和 2025 年通过验证的新研发产品量产需求。 4、问:请问目前公司"功能-结构"一体模块化产品中静电卡盘和超高纯碳化硅套件的产业化进展如何? 答:公司的静电卡盘主要与 B公司进行合作,其中8 寸静电卡盘已完成验证并开始小批量产,12寸静电卡盘已完成半导体设备厂 B公司的验证,目前正在其终端客户晶圆厂进行推广与测试。公司的超高纯碳化硅套件主要与北方华创进行合作,其中6 寸非渗硅套件已于2024年开始量产交付,8寸非渗硅套件已完成北方华创验证,同时在其终端客户晶圆厂进行推广与测试,12寸渗硅套件中部分部件已完成北方华创验证,其他部件仍然在验证中。静电卡盘量产专用线也将在苏州新生产基地整合建设,以满足将来从研发转入批量生产的产能需求。公司希望在 2025年度,可以完成更多模块化产品的验证进程,并开始投入正式量产。lg...